一粒米上刻1億個字？78歲的中國“刻蝕機之父”尹志堯，做到了

任正非曾一針見血指出華為之所以被卡脖子，是因為設計出的高端芯片，國內基礎工業還無法生產製造出來，“屋漏偏逢連夜雨”，10月7日，美國將31家中國公司和相關研究機構等悉數列入實體名單，嚴格限制向其出售尖端生產設備以生產先進制程芯片。

美國用實際行動讓“科技無國界”成了笑話，我們也該擯棄與某國合作共贏的幻想了，唯有自力更生，實現半導體產業鏈的自主，才能徹底擺脫美國的技術封鎖，儘管要實現這一步，難度不亞於登天，但好在，集成電路這麼複雜的產業鏈，也並不是美國一人說得算，任總的話其實只說對了一半……

“1粒米上刻1億個字”？這位傳奇大佬做到了！

“我們現在可以在一個米粒上刻1億個字”說出這句“狂言妄語”的不是別人，而是傳奇海歸大佬、中國“刻蝕機之父”尹志堯，他60歲從美國空手歸來，一手創辦的中微公司，如今已成為世界級刻蝕巨頭，並且因為技術專利完全自主研發，連美國都無可奈何，只能白名單放行。

不過長久以來，大多數網友都沒聽過尹志堯的鼎鼎大名，這與媒體選擇性渲染光刻機的卡脖子問題不無關係，直接導致了大眾忽視了刻蝕機的重要性，實際上，在芯片製造流程中，有三大最主要生產技術，分別為光刻技術、刻蝕技術與薄膜沉積技術，對應得設備為光刻機、等離子體刻蝕機與薄膜機，這些主要生產設備缺一不可，而薄膜機目前不存在卡脖子問題，刻蝕機已經實現自主，早就具備了5nm高端芯片的刻蝕條件，台積電、中芯國際等都是中微的客戶，所以任總說國內無法生產製造出海思設計的高端麒麟芯片，其實只說對了一半——我們已經搞定尖端SoC的自主刻蝕了，而完成這歷史性一步，最大的功臣，便是尹志堯。

為了讓讀者對大佬的有一個更豐滿立體的認知，照例，我們先來一段尹志堯的高光履歷表：

1944年出生的尹志堯，可以說是名門之後，其父是在日本留學歸來報效社國的著名電力化學專家，也許是耳濡目染，尹志堯自幼就對化學科學產生濃厚的興趣，並因為成績優異，屢獲獎學金；

1962年，尹志堯順利考入了（後來）被譽為化學專業天花板的中國科學技術大學，畢業後，尹志堯先後被分配到蘭州煉油廠和中科院蘭州物理化學所工作，這一干就是10年，不過，尹志堯還想在專業上進一步夯實自己，他並不滿足於衣食無憂的鐵飯碗，內心總有一個干大事的聲音在呼喚；

1978年，尹志堯利用業餘時間學習，順利考入北大化學系，當參觀到當時國內最先進的計算機之時，尹志堯大受觸動，內心埋下了對半導體一腔摯愛的火種，取得北大化學碩士學位後，又前往美國加州大學讀博深造，僅3年時間並拿下物理系博士學位；

1983~1985年，尹志堯以工程師身份供職於硅谷英特爾公司，英特爾中心研究開發部，是他在硅谷職業鍍金生涯的起點，這一階段眼界和能力的開拓，為尹志堯後續的事業騰飛埋下了伏筆；

1986年，尹志堯被LAMReasearch相中，加入LAM，僅僅花了5年時間，就帶領LAM走上世界之巔，成為全球最大的刻蝕機公司，彼時LAM的市場份額，一度高達40%，LAM一將功成，尹志堯也名氣大振，多家頂級公司均向他伸出橄欖枝，其中就包括著名的應用材料公司、如今的半導體設備頭號大廠AMAT。

彼時的AMAT趁LAM管理動蕩之際，一舉將尹志堯吸入麾下，此後的十幾年，有了尹志堯的加盟，AMAT如虎添翼，很快就躋身全球第一大刻蝕機公司之位，並且營收規模遙遙領先頭號光刻機大廠ASML。

可以說在上世紀80年代到2004年，是尹志堯職業生涯大放異彩的黃金二十年，他從一個小小的工程師起步，愣是干到了全球刻蝕機霸主的副總裁，不誇張地講，全世界有一半的人都在用由他（參與）主導開發的設備。

2004年，已身居全AMAT副總裁高位的尹志堯毅然決然地辭職，帶領15名心腹大將，回到中國，並於同年創辦中微半導體設備公司，然後便有了開頭的故事。

十年磨劍，科技報國

60歲歸國創業，尹志堯的決心日月可鑒，不過，在上海創辦中微的頭幾年，他惹上的麻煩就沒斷過，LAM和AMAT等前東家們多次以莫須有的“攜帶技術機密”回國為由，起訴中微，妄圖將尹志堯科技報國的理想扼殺在搖籃里，但最終，他們都失算了……

打鐵還需自身硬，尹志堯從美國走得乾乾淨淨，幾乎是空手回國，沒有攜帶任何紙質或電子檔的相關技術資料，因為尹志堯和團隊們篤信，我在美國能創造發明出一系列技術專利，我同樣回國後，也能通過原創自主技術大施拳腳，果然泛林和應用材料兩大巨頭對中微發起的連番訴訟，最終都無一例外敗北了，老美經過反覆審查，發現確實找不到中微的一丁點把柄後，遂對其開放了白名單（中微可以供貨美國公司和世界各地），尹志堯不僅未被卡脖子，還意外獲得了世界通信證，創造了中國半導體歷史。

掃除障礙後，尹志堯率領團隊日夜兼程，苦拼十幾載，終於將中微公司推到了全球刻蝕設備五大供應商之列，徹底填補了國產高端蝕刻設備的空白，中微的技術實力有多強悍呢？

截至2021年底，中微累計申請專利2012項，其中發明專利高達1741項，實用新型專利251項，其餘專利20項，發明專利佔比近90%，值得一提的是，僅尹志堯個人，就斬獲了400多項國內外專利，一流的研發實力與智慧成果產出能力，成了中微最大的底氣。

所謂藝高人膽大、能者亦多勞，尹志堯的中微團隊，還曾於2017年參與到華為海思麒麟970芯片的研發，對華為AI芯片的迭代進化，起到了至關重要的作用，當然，這是後話了。

2018年4月，中微率先突破5nm刻蝕技術，在業界引發轟動，不過彼時不少媒體和自媒體卻以博眼球為目的，毫不負責地稱“我們已突破5nm芯片製造工藝”，這一度讓尹志堯很苦惱，因為他明白，科研人最該有一說一，腳踏實地，中微可以刻蝕5nm高端芯片了，但是並不表示，我們可以無懼美國制裁了，因為，把IC設計圖案“印製”到化學薄膜上還需要依賴ASML 的EUV光刻。

2021年4月，尹志堯在楊瀾訪談錄節目《逐風者》中透露，中微3nm刻蝕機Alpha原型機的設計、製造、測試及初步的工藝開發和評估等系列工作已完成，在尹志堯看來，摩爾定律就是要被不斷打破的，他表示他和半導體行業的從業者們，還在全力衝擊2nm、1nm的物理極限，“我們的刻蝕機其實已經刻到一兩個原子這樣的準確度”，這大抵就是無雙的技術自信吧！

當然，中微為我國半導體設備的自主做出了重要的貢獻，國家更是沒虧待過它，甚至可以說自尹志堯歸國創業時，就高度重視，並且持續大力扶持，僅有據可查的真金白銀就有國家大基金一期投資（具體數額不詳，保守估計10億以上）和高達25億的大基金二期投資。

不過，這也是尹志堯和中微該得到的優待，投資這樣一個自主刻蝕龍頭，總比把海量資金砸給那些個騙補貼的芯片項目要靠譜一萬倍吧？

截至2022年6月末，尹志堯持股620萬股，占公司已發行股本的1%，中微給尹志堯開出的薪酬也很有誠意，高達669.68萬元，當然，哪怕是千萬年薪，都不為過，因為像尹志堯、梁孟松這些技術大佬，創造出的直接經濟價值，都是億計的，對中國半導體產業鏈的貢獻和深遠影響，更絕非金錢可衡量的。

中微和尹志堯的傳奇故事還在繼續，接下來，我們就該展望上微在自研光刻機領域上帶給我們的驚喜了，相信有這樣一群立志報國的頂級科學家和企業家們，我們徹底擺脫美國的技術封鎖，只是時間早晚！

未來的第一科技強國，必將屬於中國！

參考資料：

經濟觀察報、中微公司公開報道、楊瀾訪談錄等，圖源網